Float_Zone1 Float Zone(FZ) crystal growth 방법 앞의 포스팅에서 실리콘(Si)의 구조 그리고 모래(silica)를 통해 poly silicon을 만드는 화학 반응식에 대해 알아보았다. 그리고 우리가 사용하는 wafer를 만들기 위해서는 single crystal silicon으로 성장시켜야하는데 그 방법으로 쵸크랄스키법과 Float Zone 방법이 있다고 했다. 쵸크랄스키법에 대해 앞 포스팅에서 자세히 다뤘는데 간단하게 정리한 후, Float Zone crystal growth에 대해 적으려고 한다. 쵸크랄스키법(CZ)와 Float Zone(FZ) 방법의 장단점을 비교해보면 언제, 왜 Float zone 방법을 사용하는지 이해할 수 있을 것이다. 쵸크랄스키 방법은 Crucible에 Poly-Si을 넣고 높은 온도에서 가열하여 녹인 후 seed의 방향으.. 2021. 8. 17. 이전 1 다음
